透明なプラスチックフィルム上に，ジアゾニウム塩とカプラー（発色剤）成分を含む感光層を設けた感光フィルム。紫外線露光により露光部は光分解が起こり，未露光部のジアゾニウム塩がカップラーとアルカリの共存化でアゾ染料となり発色し画像を形成する。一般に透過ポジ原稿とジアゾフィルムを密着し，原稿側から紫外光照射をおこなった後，アンモニアガスなどに触れさせて発色させる。スライドフィルム，マイクロフィルム，第二原図などに用いられる。