観測顕微鏡と透明なXYステージを備えた形状観測および寸法測定を行う装置。通常の顕微鏡に比べ試料台の可動範囲が広く,移動位置が1μmの精度で表示され,寸法測定できる。平面状の2点間の距離や座標・輪郭の測定,形状測定,角度測定などに用いられる。またマスクパターンの変形やフィルム,紙などの伸縮が精密に測定できる。ほかに観測用顕微鏡自身が移動する方式のものもある。