印刷用語集
一般社団法人 日本印刷産業連合会
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フォトリソグラフィ
ふぉとりそぐらふぃ / photolithography
光とフォトレジストをもちいた,IC・LSI(集積回路),プリント配線板,カラーフィルタなどの微細加工製品を製造する技術。フォトレジストへのパターン露光には,紫外線・遠紫外線などが用いられる。

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